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本文关键词：质量流量控制器
热分布式质量流量控制器，采用的传感器部分由一个加热器和两个测温元件构成，加热元件布置在管道中间并进行恒功率加热，两个测温元件对称布置在加热元件的上下游测量管壁温度。 当流速为零时，加热元件两端温度分布相。当流速不为零时，流体流动将上游管壁的热量传输到下游管壁，从而改变管壁的温度分布。
热分布式质量流量控制器可测微小流速且分辨率高，传感器安装在管道上且与流体不接触，避免了流体的压力损失。在此基础上，改进发展出毛细管式热式质量流量控制器投入应用，在其主管道附近增加了一个直径小的旁路管道，传感器安装在此旁路管道上，一部分被测介质通过旁路进行流动并改变此旁路的温度分布。
